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產(chǎn)品概述
原子力顯微鏡1000AFM采用掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體的光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)。高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇，彈簧懸掛式防震方式的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，抗干擾能力強(qiáng)。
一、主要功能特點(diǎn)
硬件系統(tǒng)
1、主機(jī)與控制箱分開，外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；
2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；
3、精密激光定位裝置，使用時(shí)無(wú)需調(diào)節(jié)光斑位置；
4、采用精密探針定位模塊，更換探針簡(jiǎn)單方便；
5、采用樣品趨近探針?lè)绞剑贯樇獯怪庇跇悠窉呙瑁?br />
6、伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域*定位；
7、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；
8、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
9、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；
11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用；
12、彈簧懸掛式防震方式，簡(jiǎn)單實(shí)用，抗干擾能力強(qiáng)。
軟件系統(tǒng)
1、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512；
2、多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；
3、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
4、可任意選擇樣品起始掃描角度；
5、激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能；
6、可任意定義掃描圖像的色板功能；
7、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；
8、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正；
9、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
規(guī)格參數(shù)
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序號(hào)
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名 稱
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參 數(shù)
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01
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工作模式
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接觸、摩擦力(可選配輕敲、相位、磁力、靜電力)
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02
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樣品尺寸
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Φ≤90mm；H≤20mm
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03
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較 大掃描范圍
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橫向20um，縱向2um
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04
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掃描分辨率
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橫向0.2nm，縱向0.05nm
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05
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掃描速率
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0.6Hz~4.34Hz
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06
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掃描控制
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XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
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07
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數(shù)據(jù)采樣
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14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
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08
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掃描角度
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任意
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09
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樣品移動(dòng)范圍
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0～20mm
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10
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馬達(dá)趨近脈沖寬度
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10±2ms
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11
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光學(xué)放大倍數(shù)
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4X
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12
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光學(xué)分辨率
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2.5um
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13
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圖像采樣點(diǎn)
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256×256，512×512
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14
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反饋方式
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DSP數(shù)字反饋
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15
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反饋采樣速率
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64.0KHz
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16
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計(jì)算機(jī)接口
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USB2.0
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17
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運(yùn)行環(huán)境
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運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)
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